株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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6月, 2013年

Leybold製Mag2000ターボポンプ・Mag Driveコントローラの修理(オーバーホール)は継続的に提供可能です。
2013/06/02

leybold homepage

Leybold純正メーカーは下記のMag2000ターボポンプを2015年3月末、Mag Driveコントローラは2013年3月末にて修理サービスを終了します。

Type Model DESCRIPTION Leybold P/N
Turbo Pump Mag 2000 Pump Turbo 409 4GPM Leybold Mag2000C ISO-K 400045V0012
Turbo Pump Mag 2000 TMP,2000L,TURBO PUMP,LEYBOLD 89416
Turbo Pump Mag 2000 PUMP,TURBO,LEYBOLD,MAG2000C,W/PURGE 400045V0009
Controller Mag Drive CNTRLR Turbo Pump Leybold HDP300 400034V0001
Controller Mag Drive CNTRLR,TURBO PUMP,LEYBOLD,HDP300 400034V0011
Controller Mag Drive CNTRLR 1/2 Rack L2000 12135

しかしながら、弊社は引き続き修理・オーバーホールをさせて頂く事が可能でございます。

詳しくはsales@tmh-inc.co.jpにお問い合わせ下さい。

MCA ESC・Ceramic Heater・Magnetの再生サービスの提供を始めました。
2013/06/01

投稿1

MCA E-Chuck Heater(150mm, 200mm, 300mm)、PVD ESC、ALN Heater、CVD Ceramic Heater、AMAT製及びTEL製 Magnetの再生はすべて対応可能です。

代表的な物は下記:
– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]

 

詳しくはESC再生リストをご覧下さい。

記載していないモデルも対応可能ですので、お気軽にsales@tmh-inc.co.jpに

お問い合わせして下さい。