6月, 2013年
- Leybold製Mag2000ターボポンプ・Mag Driveコントローラの修理（オーバーホール）は継続的に提供可能です。
- 2013/06/02
Leybold純正メーカーは下記のMag2000ターボポンプを2015年3月末、Mag Driveコントローラは2013年3月末にて修理サービスを終了します。
Type Model DESCRIPTION Leybold P/N Turbo Pump Mag 2000 Pump Turbo 409 4GPM Leybold Mag2000C ISO-K 400045V0012 Turbo Pump Mag 2000 TMP,2000L,TURBO PUMP,LEYBOLD 89416 Turbo Pump Mag 2000 PUMP,TURBO,LEYBOLD,MAG2000C,W/PURGE 400045V0009 Controller Mag Drive CNTRLR Turbo Pump Leybold HDP300 400034V0001 Controller Mag Drive CNTRLR,TURBO PUMP,LEYBOLD,HDP300 400034V0011 Controller Mag Drive CNTRLR 1/2 Rack L2000 12135 しかしながら、弊社は引き続き修理・オーバーホールをさせて頂く事が可能でございます。
詳しくはsales@tmh-inc.co.jpにお問い合わせ下さい。
- MCA ESC・Ceramic Heater・Magnetの再生サービスの提供を始めました。
- 2013/06/01
MCA E-Chuck Heater(150mm, 200mm, 300mm)、PVD ESC、ALN Heater、CVD Ceramic Heater、AMAT製及びTEL製 Magnetの再生はすべて対応可能です。
代表的な物は下記：
– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]詳しくはESC再生リストをご覧下さい。
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記載していないモデルも対応可 能ですので、お気軽にsales@tmh-inc.co.jpに お問い合わせして下さい。
