株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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Archive for the ‘製品紹介’ Category

ESC等希少アイテムを販売しています!
2016/12/15

対象品:三菱製FT700-A101ターボポンプ及びFTI-700-T7コントローラ

数量:5セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

興味のある方は、sales@tmh-inc.co.jpに御連絡下さい。

0101-2

対象品:AMAT ESC 0010-27430

数量:2セット

状態: O/H済み品

価格:応相談

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対象品:AMAT ESC 0010-24456

数量:1セット

状態:O/H済み品

価格:応相談

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対象品:LAM ESC 839-019090-324

数量:3セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

興味のある方は、sales@tmh-inc.co.jpに御連絡下さい。324-表面

342-4


02-2

 

 

対象品:LAM ESC  839-019090-608

数量:3セット

状態:中古AS-IS

価格:応相談

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608-表面

608-3
03-2

 

対象品:LAM ESC  839-800327-315

数量:3セット

状態: 中古AS-IS

価格:応相談

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Lam ESC 315 表面

315-4
04-2
対象品:LAM ESC 839-800327-390

数量: 3セット

状態: 中古AS-IS

価格:応相談

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390-表面

05-105-2

 

 

対象品:TEL ESC 3D10-100930-13

数量: 3セット

状態: 中古AS-IS

価格:応相談

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対象品:ターボポンプコントローラTCP380

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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08-2

 

 

 

対象品:シャワーヘッド0040-87958-004

数量:4セット

状態:OEM new

価格:応相談

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09-3

 

 

対象品:ENI製DCG-200ZH-S00 DC Plasma Generator

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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10-2

10-3

 

 

対象品:ターボポンプコントローラTD20

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:Micro Wave Survey Meter HI-1801

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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13-2

 

 

対象品:ターボポンプコントローラACT600HT

数量: 1セット

状態:OEM new

価格:応相談

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14-2

 

 

 

対象品:RF Generator Ovation2560SF/3150295

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:Servo Driver MR-SD20

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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16-2

 

 

対象品:RPS 3151801-004

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:RF Generator HFA-50A

数量: 1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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18-2

 

 

対象品:三菱製FT700-A1K1ターボ分子ポンプ

数量:1セット

状態:中古 AS-IS 洗浄済

価格:応相談

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対象品:TELIUS SP TOPマッチャAMN-50B2

数量:2セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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20-2

 

 

対象品:Producer用アルミヒーター0010-33992

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:VECTOR用PEDESTAL HEATER(300mm)

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

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対象品:ガス混合供給ユニットMU-1213

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

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対象品:SMCチラーINR-498-016C

数量:2セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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25-2

 

 

 

 

 

 

対象品:Pivot 0010-03667 Rev002

数量:2セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:VCR GASKETS SS-4-VCR-2-GR-VS

数量:9セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:AE製RF電源(APEX1513) 3156110-005D

数量:1セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

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対象品:ILD-0433用ROBOT RR304L90

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:ENI製Spectrum13.56MHz電源B-10513

数量:1セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

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対象品:PTI-1500-T9ターボ分子ポンプコントローラ

数量:13セット

状態:OEM new

価格:応相談

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対象品:MKS製DC電源DCG-200E 0190-12212

数量:1セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

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対象品:MKS製DC電源DCG-200Z 0190-08033

数量:1セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

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対象品:MKS製DC電源DCG-200Z 0190-08034

数量:1セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

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対象品:ターボポンプコントローラSCU-301C

数量:1セット

状態:refurbished condition

価格:応相談

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対象品:ターボポンプコントローラD8220

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:ターボポンプコントローラ305W-A

数量:3セット

状態:中古 AS-IS

価格:応相談

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対象品:DC24V電源15w EWS-15-24

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

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対象品:Trap Assy 3M87-050629-12

数量:1セット

状態:OEM new

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対象品:ターボポンプコントローラSCU-H2001K2

数量:1セット

状態:中古 AS-IS

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対象品:信越石英チューブ PROCESS 94.8L

数量:2セット

状態:OEM新品

価格:応相談

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対象品:CANON ANELVA ターボ分子ポンプ ICP. TG1110EMVA

数量:1セット

状態:OEM Refurbished

価格:応相談

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対象品:CABLE, LASER DIODE W/F.O. AMAT  P/N: 1100-A0110

数量:5セット

状態:OEM 新品

価格:応相談

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対象品:AE RF Generator  2.165MHZ 8KW HFV 8K-192; P/N: 0190-15553

数量:2セット

状態:OEM refurbished

価格:応相談

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対象品:AE APEX  REVJ RF Generator 13.56MHZ 10KW; P/N: 0190-15552W

数量:2セット

状態:OEM refurbished

価格:応相談

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Leybold製Mag2000ターボポンプ・Mag Driveコントローラの修理(オーバーホール)は継続的に提供可能です。
2013/06/02

leybold homepage

Leybold純正メーカーは下記のMag2000ターボポンプを2015年3月末、Mag Driveコントローラは2013年3月末にて修理サービスを終了します。

Type Model DESCRIPTION Leybold P/N
Turbo Pump Mag 2000 Pump Turbo 409 4GPM Leybold Mag2000C ISO-K 400045V0012
Turbo Pump Mag 2000 TMP,2000L,TURBO PUMP,LEYBOLD 89416
Turbo Pump Mag 2000 PUMP,TURBO,LEYBOLD,MAG2000C,W/PURGE 400045V0009
Controller Mag Drive CNTRLR Turbo Pump Leybold HDP300 400034V0001
Controller Mag Drive CNTRLR,TURBO PUMP,LEYBOLD,HDP300 400034V0011
Controller Mag Drive CNTRLR 1/2 Rack L2000 12135

しかしながら、弊社は引き続き修理・オーバーホールをさせて頂く事が可能でございます。

詳しくはsales@tmh-inc.co.jpにお問い合わせ下さい。

MCA ESC・Ceramic Heater・Magnetの再生サービスの提供を始めました。
2013/06/01

投稿1

MCA E-Chuck Heater(150mm, 200mm, 300mm)、PVD ESC、ALN Heater、CVD Ceramic Heater、AMAT製及びTEL製 Magnetの再生はすべて対応可能です。

代表的な物は下記:
– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]

 

詳しくはESC再生リストをご覧下さい。

記載していないモデルも対応可能ですので、お気軽にsales@tmh-inc.co.jpに

お問い合わせして下さい。