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터보펌프・로봇・RF전원・ESC및 세라믹히터수리,각종반도체부품의 새제품및 중고판매,장치이설등

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6月, 2013年

Leybold Mag2000 터보펌프・Mag Drive 컨트롤의 수리 (O/H)는 지속적으로 제공 가능합니다.
2013/06/02

leybold homepage

 

Leybold純正メーカーは下記のMag2000ターボポンプを2015年3月末、Mag Driveコントローラは2013年3月末にて修理サービスを終了します。

Type Model DESCRIPTION Leybold P/N
Turbo Pump Mag 2000 Pump Turbo 409 4GPM Leybold Mag2000C ISO-K 400045V0012
Turbo Pump Mag 2000 TMP,2000L,TURBO PUMP,LEYBOLD 89416
Turbo Pump Mag 2000 PUMP,TURBO,LEYBOLD,MAG2000C,W/PURGE 400045V0009
Controller Mag Drive CNTRLR Turbo Pump Leybold HDP300 400034V0001
Controller Mag Drive CNTRLR,TURBO PUMP,LEYBOLD,HDP300 400034V0011
Controller Mag Drive CNTRLR 1/2 Rack L2000 12135

しかしながら、弊社は引き続き修理・オーバーホールをさせて頂く事が可能でございます。

詳しくはsales@tmh-inc.co.jpにお問い合わせ下さい。

MCA ESC · Ceramic Heater · Magnet 수리 서비스를 시작했습니다.
2013/06/01

投稿1

MCA E-Chuck Heater (150mm, 200mm, 300mm), PVD ESC, ALN Heater, CVD Ceramic Heater, AMAT 제 및 TEL 제 Magnet의 재생은 모두 대응 가능합니다.

대표적인것만 아래에 기재 하였습니다.

 

– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]

 

자세한 내용은 ESC 재생 목록을 참조하십시오.

◆ 기재하지 않은 모델도 대응 가능하므로, 부담없이 sales@tmh-inc.co.jp에

문의 해주세요.