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MCA E-Chuck Heater (150mm, 200mm, 300mm), PVD ESC, ALN Heater, CVD Ceramic Heater, AMAT 제 및 TEL 제 Magnet의 재생은 모두 대응 가능합니다.

대표적인것만　아래에　기재　하였습니다．

– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]

자세한 내용은 ESC 재생 목록을 참조하십시오.

◆ 기재하지 않은 모델도 대응 가능하므로, 부담없이 sales@tmh-inc.co.jp에

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