株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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MCA ESC・Ceramic Heater・Magnetの再生サービスの提供を始めました。
2013/06/01

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MCA E-Chuck Heater(150mm, 200mm, 300mm)、PVD ESC、ALN Heater、CVD Ceramic Heater、AMAT製及びTEL製 Magnetの再生はすべて対応可能です。

代表的な物は下記:
– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]

 

詳しくはESC再生リストをご覧下さい。

記載していないモデルも対応可能ですので、お気軽にsales@tmh-inc.co.jpに

お問い合わせして下さい。