株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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AMAT

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  • 0040-18219 "ULTIMA ESC 8"" HDP Ultima ESC"
  • 0040-18208 "ULTIMA ESC 8"" HDP Ultima ESC"
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  • 0040-48399 MCA ESC 300mm AMAT MCA E-Chuck Assy
  • 0040-70754 MCA ESC 300mm AMAT MCA E-Chuck Assy
  • 0040-33215 ULTIMA ESC 300mm Dual HE HDPCVD ESC
  • 0040-49504 E-MAX ESC 300mm E-Max Ceramic ESC Assy
  • 0040-49519 E-MAX ESC 300mm E-Max Ceramic ESC Assy
  • 0200-02936 "MCA ESC 300mm Endura Puck Assy
  • 0010-54667 MCA ESC 300mmm AMAT MCA E-Chuck Assy
  • 0041-26722 AMAT ESC 300mm AMAT ESC Assy
  • 0041-26723 AMAT ESC 300mm AMAT ESC Assy
  • 0040-81673 AMAT ESC 300mm AMAT ESC Assy
  • 0040-53718 AMAT ESC 300mm AMAT ESC Assy
  • 0040-81674 AMAT ESC 300mm AMAT ESC Assy
  • 0040-02987 "ULTIMA ESC 300MM DUAL HE

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