株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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RF電源販売

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  • MW-5060 MW-5060-01 REV 004 FULLY REFURBISHED
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  • ELITE 750 RF Generator
  • MKS SPECTRUM B-1513 RF Generator
  • SPECTRUM 10513-00 RF Generator
  • SPECTRUM B 5002 RF Generator
  • DOFBC2-075 RF Generator
  • MW-20LD-HN Matching Box
  • MW-25D-02M3J1 Matching Box
  • MW2-60 Matching Box
  • MWD-25LD-06 Matching Box
  • MWD-25LD-02 Matching Box
  • MWH-5 Matching Box
  • ABX-X490 SSD Board
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  • AX7635-03 RPS
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  • FI20620-1 RPS
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  • FI80132 RPS
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  • 0190-33638 RF Generator Spectrum13.56MHz B-10513-00 F
  • 0190-12213 DC Power Supply DCG-200E DCG-200E
  • 0190-22918/002 DC Power Supply DCG-200 DCG-200ZH-S00
  • 0190-22918W/002 DC Power Supply DCG-200 DCG-200ZH-S00

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