株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

Select Language

電源関係(RF・Matcher・Ozone Generator・RPS・Microwave等)

DAIHEN

下記型式の電源・マッチャ・RPSなどは全て定額修理・オーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

  • AGA-27B RF GENERATOR
  • AGA-50B RF GENERATOR
  • DRFS-10SB RF GENERATOR
  • MFG-15SA RF GENERATOR
  • MFG-20SA RF GENERATOR
  • RGA-10A RF GENERATOR
  • WGA-30A RF GENERATOR
  • WGA-30C RF GENERATOR
  • WGA-50E RF GENERATOR
  • RMN-30 RF MATCHER
  • RMN-50H1 RF MATCHER
  • RMN-6C RF MATCHER
  • RGA-400 RF Generator
  • RGA-300C2 RF Generator
  • RGA-150A RF Generator
  • RGA-50C RF Generator
  • RGA-30 RF Generator
  • AGA-30 RF Generator
  • AGA-27 RF Generator
  • AGA-50B2 RF Generator
  • MFG-15SA6 RF Generator
  • MFG-20B RF Generator
  • MFG-20SA Controller RF Generator
  • MFG-20SA3 RF Generator
  • MGA-20A RF Generator
  • MGA-30 RF Generator
  • MGA-50 RF Generator
  • SGP151HV RF Generator
  • SGP101HV RF Generator
  • SGP-30 RF Generator
  • SGP-50 RF Generator
  • SVP-15 RF Generator
  • AMN-30 Matching Box
  • AMN-50 Matching Box
  • AMN-30C11 Matching Box
  • AMN-50B2 Matching Box
  • AMN-50H Matching Box
  • AMN-50L Matching Box
  • AMN-50K Matching Box
  • AMN-50F Matching Box
  • MFM-20SA Matching Box
  • NX-AMN-50E3 Matching Box
  • RMN-100B1 Matching Box
  • RMN-200A Matching Box
  • RMN-200B Matching Box
  • RMN-300 Matching Box
  • RMN-25A Matching Box
  • RMN-50N Matching Box
  • RMN-75A2 Matching Box
  • RMN-50RA Matching Box
  • RMN-10 Matching Box
  • RMN-50P Matching Box
  • RMN-50T Matching Box
  • RMN-50U Matching Box
  • RMN-50W Matching Box
  • WMN-50C6 Matching Box
  • WMN-50H6A Matching Box
  • HFA-50A RF Generator RF Generator

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。