株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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電源関係(RF・Matcher・Ozone Generator・RPS・Microwave等)

MUEGGE

下記型式の電源・マッチャ・RPSなどは全て定額修理・オーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

  • MX1000
  • MX2000
  • MX3000
  • MX4000
  • MX60000-110KL
  • MX010KG-110KL
  • MX012KE-110ME
  • MX020KE-110ME
  • MG5000X-510ML
  • MX030KE-110ME
  • MX060KE-511ME
  • MX075KE-511ME
  • MX100KE-610MJ

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。