株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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電源関係(RF・Matcher・Ozone Generator・RPS・Microwave等)

SEREN

下記型式の電源・マッチャ・RPSなどは全て定額修理・オーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

  • R301-13
  • R601-13
  • R1001-13
  • R1001-1
  • R1001-2
  • R2001-13
  • R3001-13
  • R5001-13
  • R10001-13
  • R150001-13
  • R20001-13
  • HR601
  • HR1001
  • HR1501
  • HR2001-AC
  • HR2001
  • HR3001
  • HR5001
  • I2000
  • R1500
  • L301
  • L601
  • L1001
  • L2001
  • L3001
  • L5001
  • AT-3
  • AT-10
  • AT-20
  • AT-30
  • AT-50
  • ATS-3
  • ATS-10
  • ATS-20
  • ATS-30
  • MW300
  • MW600
  • IM2027
  • PM613
  • SET1500

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。