株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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電源関係(RF・Matcher・Ozone Generator・RPS・Microwave等)

TRAZAR

下記型式の電源・マッチャ・RPSなどは全て定額修理・オーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

  • AMU10-2 RF MATCHER
  • AMU10-4 RF MATCHER
  • AMU10D-1 RF MATCHER
  • AMU10E-2 RF MATCHER
  • AMU2-1 RF MATCHER
  • AMU5 RF MATCHER
  • SRN1-2 RF MATCHER
  • RF04 Matching Box
  • AMU-10 Matching Box
  • AMU-2 Matching Box
  • AMU-5 Matching Box
  • AMU-10E-1 Matching Box
  • AMU-10E-2 Matching Box
  • AMU-100-1 Matching Box
  • AMU2C-1 Matching Box
  • AMU2D-1 Matching Box
  • AMU-200-2 Matching Box
  • ECC1-1 ESC Power Supply
  • ECC1-1M ESC Power Supply
  • ECC1-3 ESC Power Supply
  • ECC1-4 ESC Power Supply
  • ECC1-4F ESC Power Supply
  • ECC1-5 ESC Power Supply
  • ECC1-6 ESC Power Supply
  • ECC3-1 ESC Power Supply
  • ECC3-2 ESC Power Supply
  • ECC3-3 ESC Power Supply

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。