株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ロボット

AMAT

下記型式のロボットは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式のロボットに対応するコントローラも修理可能です。

  • 0010-19040 VHPe Robot
  • 0010-23249 Producer VHP Robot
  • 0242-81833 Centura VHP Robot
  • 0040-03664 Centura VHP+ Robot
  • 0010-70650 VHP+ ROBOT
  • 0010-31899 VHP ROBOT(300mm NON-PLT Water)
  • 0010-31766 VHP-E ROBOT

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。