株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ロボット

ASYST

下記型式のロボットは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式のロボットに対応するコントローラも修理可能です。

  • 04300 Series ROBOT
  • AMPLIFIER BOARD ROBOT PCB
  • COMMUNICATION BOARD ROBOT PCB
  • CPU BOARD ROBOT PCB
  • INDEXER BOARD ROBOT PCB
  • MOTION BOARD ROBOT PCB
  • TAG 82 SERIES ROBOT PCB
  • TAG 84 SERIES ROBOT PCB
  • INX2150 SMIF
  • INX2200 SMIF
  • LPO2200 SMIF
  • LPT2150 SMIF
  • LPT2200 SMIF
  • LPX2200 SMIF
  • Versa Port 2200 SMIF

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。