株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ロボット

MECS(ASYST)

下記型式のロボットは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式のロボットに対応するコントローラも修理可能です。

  • 05300 series ROBOT
  • 12000 series ROBOT
  • UTC-208改 ROBOT
  • UTC820Z(Robot) ROBOT
  • UTW-5500-028 ROBOT
  • UTW-F5500M ROBOT
  • UTX-1000 ROBOT
  • UTX-1200PT ROBOT
  • UTX-F5000 ROBOT
  • UTX-F5500 ROBOT
  • UTX-F5500M-037 ROBOT
  • UTX-N1210 ROBOT

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。