株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ロボット

PRI/EQUIPE(BROOKS)

下記型式のロボットは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式のロボットに対応するコントローラも修理可能です。

  • ESC-200 PREALIGNER/CONTROLLER
  • ESC-201 PREALIGNER/CONTROLLER
  • ESC-212 PREALIGNER/CONTROLLER
  • ESC-212B PREALIGNER/CONTROLLER
  • ESC-218 PREALIGNER/CONTROLLER
  • ESC-222 PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-200 PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-200B PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-201 PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-201B PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-300 PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-300B PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-300-CG-CE PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-301 PREALIGNER/CONTROLLER
  • PRE-301B PREALIGNER/CONTROLLER
  • ABM405-1-NOZ ROBOT
  • ATM-104-1 ROBOT
  • ATM-105 ROBOT
  • ATM-105-2 ROBOT
  • ATM-107 ROBOT
  • ATM-1x4 ROBOT
  • ATM-305 ROBOT
  • ATM-405 ROBOT
  • ATM-407 ROBOT
  • ATM-407b ROBOT
  • AxM-204 ROBOT
  • AxM-205 ROBOT
  • AxM-207 ROBOT
  • AxM-305 ROBOT
  • AxM-307 ROBOT
  • AxM-405 ROBOT
  • DBM-2405 ROBOT
  • DBM-2406 ROBOT
  • DBM-2407 ROBOT
  • DBM-2407-V2 ROBOT
  • DBM-2506 ROBOT
  • DBM-2507 ROBOT
  • DBM-2607 ROBOT
  • RC400M ROBOT
  • TSB-2407 ROBOT
  • WTM-107 ROBOT
  • WTM-407 ROBOT
  • WTM-511 ROBOT

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。