株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ロボット

RORZE

下記型式のロボットは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式のロボットに対応するコントローラも修理可能です。

  • RR304 ROBOT
  • RR700 ROBOT
  • RR700L150-230-010 ROBOT
  • RR701 ROBOT
  • RR701L90_Z20_616 ROBOT
  • RR711 ROBOT
  • RR713 ROBOT
  • RR713L1521-3A3-E01 ROBOT
  • RR721 ROBOT
  • CONTROLLER RC-233 ROBOT PCB
  • DRIVER RD-023 ROBOT PCB
  • DRIVER RD-026 ROBOT PCB
  • LINK MASTER RC-002 ROBOT PCB
  • 200mm/300mm Sorter SORTER
  • RR304L90 ILD-0433用ROBOT ROBOT
  • RA401 ILD-0433用Aligner PREALIGNER/CONTROLLER

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。