株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ターボポンプ

ALCATEL

下記型式のターボポンプは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式に対応するコントローラも修理可能です。

  • ACT1300
  • ATH1300M
  • ATH1600H
  • ATH1600M
  • ATH2300M
  • ATH400M
  • ATP100
  • ATP150
  • ATP300
  • ATP400
  • ATP5150
  • ATP5400
  • ATP5402CIS
  • ATP80
  • ATP900
  • MDP5011
  • ACT2300M
  • ACT600M
  • ACT600T
  • CF450-5300
  • CFF450-5400
  • Drytel31
  • Drytel34
  • Drytel100
  • Ui692 ACT600HT ACT600HT

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。