株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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ターボポンプ

EBARA

下記型式のターボポンプは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式に対応するコントローラも修理可能です。

  • ET1600
  • ET1600WS
  • ET300
  • ET300C
  • ET300P
  • ET300PD
  • ET300UZ
  • ET300W
  • ET300WS
  • ET300WS-A
  • ET450C
  • ET500WS
  • ET600D
  • ET600H
  • ET600P
  • ET600WS
  • ET600WSTF
  • ET601H
  • ET800
  • ET800H
  • ET800WS
  • ET801H
  • ET600
  • ET1606
  • AET16-4490C 1606W-TF 1606W-TF
  • 305W-A TMP controller
  • 1606W-TF TMP controller

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。