株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

Select Language

ターボポンプ

PFEIFFER

下記型式のターボポンプは全てオーバーホール対応可能です。在庫により一部Exchangeも可能です。

下記型式に対応するコントローラも修理可能です。

  • TMH063
  • TMH064
  • TMH064P
  • TMH071P
  • TMH1001P
  • TMH1600PC
  • TMH1601P
  • TMH240
  • TMH260P
  • TMH520
  • TMH520P
  • TMH520SG
  • TMH521
  • TMH521P
  • TMH521UPX
  • TMH521YP
  • TPH1201P
  • TPH1501P
  • TPH1600
  • TPH2101PCX
  • TPH2301PCX
  • TPH240
  • TPH510U
  • TPH520
  • TPU060
  • TPU062
  • TPU065
  • TPU170
  • TC750
  • TPH2101UPC
  • Hipace2300UP
  • Hipace2300UC

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。