株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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Valve

SMC

下記型式のバルブは全て定額修理対応可能です。

  • NCY2B40h-1900 Door cylinder CYLINDER
  • XLA-160DA-M9BA HIGH VACUUM VALVE
  • XLA-80DA SINGLE BELLOWS HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-100 HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-100D-855 HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-100D-862 HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-40 DUAL BELLOWS HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-40 HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-50 HIGH VACUUM VALVE
  • XLD-80 HIGH VACUUM VALVE
  • XYA-80 HIGH VACUUM VALVE
  • XMD-63-DL-M9 ISOLATION VALVE
  • CDRB1BW50-UIA980592 Super E Lifter Actuator|AMAT PN : 0520-01043 LIFT ARM ASSEMBLY
  • 02-121427-00 SMC 200mm L-motion Valve| 60-149991-00| CHAMBER SLIT VALVE
  • 02-133793-00 SMC 200mm L-motion Valve| 60-133798-00| L/L SLIT VALVE
  • XGT310-30-1A-X446 SLIT VALVE
  • SMC 300mm L-motion Valve SLIT VALVE

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

詳しくはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。