株式会社TMH

ターボ分子ポンプオーバーホール・ロボット定額修理・RF電源定額修理・ESC再生、各種半導体用パーツ販売、装置移設など

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各種パーツ

NOVELLUS

  • 02-00093-00 ASSY| ONE-ARM ROBOT
  • 16-144643-00 Novellus Pedestal Lifter|300MM
  • 19-100586-00 Novellus Bellow| Pedestal Cylinder|300MM
  • 16-128855-00 Novellus Bellow| Argon Dump|300MM
  • 60-680027-00 Novellus ISO Valve (MDC)|200MM/300MM
  • 27-00082-00
  • 27-00117-00

掲載していないメーカー・型式も取り扱っております。

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