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Turbo Pump・Robot・RF電源・ESC&Ceramic Heater再生、半導體關聯零件之新品・中古品銷售、機台移設等

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Archive for the ‘製品紹介’ Category

我司出售ESC等的稀有中古品!
2016/12/15

销售品:三菱制FT700-A101制Turbo Pump・FTI-700-T7 Turbo controller

数量:5组

状态:已翻新

价格:可洽询

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0101-2

销售品:AMAT MCA ESC 0010-27430

数量:1组

状态:已翻新

价格:可洽询

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销售品:AMAT MCA ESC 0010-24456

数量:1组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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销售品:LAM ESC 839-019090-324

数量:3组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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324-表面

342-4
02-2

 

销售品:LAM ESC 839-019090-608

数量:3组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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608-表面

608-3
03-2

销售品:LAM ESC 839-800327-315

数量:3组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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Lam ESC 315 表面

315-4

04-2

 

 

销售品:LAM ESC 839-800327-390

数量:3组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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390-表面

05-105-2

 

销售品:TEL ESC 3D10-100930-13

数量:3组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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06-106-2

 

 

销售品:Turbo controller TCP380

数量:1组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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08-1

08-2

 

销售品:Shower head 0040-87958-004

数量:4组

状态:已翻新

价格:可洽询

狀態:已翻修

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09-2

09-3

销售品:ENI制DCG-200ZH-S00 DC Plasma Generator

数量:1组

状态:中古

价格:可洽询

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10-110-210-3

 


 

 

销售品:Micro Wave Survey Meter HI-1801

数量:1组

状态:中古

价格:可洽询

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13-113-2

 

 

销售品:RF Generator Ovation2560SF/3150295

数量:1组

状态:中古

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15-115-2

销售品:Servo Driver MR-SD20

数量:1组

状态:中古

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16-116-2

销售品:RPS 3151801-004

数量:1组

状态:中古

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17-117-2

销售品:RF Generator HFA-50A

数量:1组

状态:中古

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销售品:三菱制FT700-A1K1 Turbo Pump

数量:1组

状态:中古,已洗净

价格:可洽询

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19-119-2

 

 

 

 

销售品:Producer Aluminum Heater 0010-33992

数量:1组

状态:中古

价格:可洽询

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21-1

 

 

销售品:VECTOR用PEDESTAL HEATER(300mm)

数量:1组

状态:中古

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22-1

 

 

销售品:Gas Mixing Supply System气体混合供应系统MU-1213

数量:1组

状态:中古

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销售品:SMC Chiller INR-498-016C

数量:2组

状态:中古

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25-2

 

 

 

销售品:VHP Robot Pivot 0010-03667 Rev002

数量:1组

状态:中古

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销售品:VCR GASKETS SS-4-VCR-2-GR-VS

数量:9组

状态:中古

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销售品:AE制RF电源(APEX1513) 3156110-005D

数量:1组

状态:已翻新

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销售品:ILD-0433用ROBOT RR304L90

数量:1组

状态:中古

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28-1

 

销售品:ENI制Spectrum13.56MHz电源B-10513

数量:1组

状态:已翻新

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29-129-2

 

 

 

销售品:PTI-1500-T9 Turbo controller

数量:13组

状态:原厂新品

价格:可洽询

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32-132-2

 

 

销售品:MKS制DC电源DCG-200E 0190-12212

数量:1组

状态:中古

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销售品:MKS制DC电源DCG-200Z 0190-08033

数量:1组

状态:已翻新

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销售品:MKS制DC电源DCG-200Z 0190-08034

数量:1组

状态:已翻新

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销售品:Turbo controller SCU-301C

数量:1组

状态:已翻新

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销售品:Turbo controller D8220

数量:1组

状态:中古

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销售品:Turbo controller 305W-A

数量:1组

状态:中古

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销售品:DC24V电源15w EWS-15-24

数量:1组

状态:中古

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销售品:Turbo controller SCU-H2001K2

数量:1组

状态:中古

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36-1001

 

 

销售品: 信越 石英TUBE PROCESS 94.8L

数量:2组

状态:原厂新品

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销售品:Turbo pump Canon Anelva  ICP. TG1110EMVA, P/N: N50003337

数量:1组

状态:原厂翻修品

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销售品:CABLE, LASER DIODE W/F.O. AMAT P/N: 1100-A0110

数量:5组

状态:原厂新品

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销售品: AE RF Generator  2.165MHZ 8KW HFV 8K-192; P/N: 0190-15553

数量:2组

状态:原厂翻修品

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销售品:AE APEX  REVJ RF Generator 13.56MHZ 10KW; P/N: 0190-15552W

数量:2组

状态:原厂翻修品

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Leybold製Mag2000 Turbo Pump及Mag Drive控制器可持續提供維修(O/H)服務。
2013/06/02

leybold homepage

 

Leybold純正メーカーは下記のMag2000ターボポンプを2015年3月末、Mag Driveコントローラは2013年3月末にて修理サービスを終了します。

Type Model DESCRIPTION Leybold P/N
Turbo Pump Mag 2000 Pump Turbo 409 4GPM Leybold Mag2000C ISO-K 400045V0012
Turbo Pump Mag 2000 TMP,2000L,TURBO PUMP,LEYBOLD 89416
Turbo Pump Mag 2000 PUMP,TURBO,LEYBOLD,MAG2000C,W/PURGE 400045V0009
Controller Mag Drive CNTRLR Turbo Pump Leybold HDP300 400034V0001
Controller Mag Drive CNTRLR,TURBO PUMP,LEYBOLD,HDP300 400034V0011
Controller Mag Drive CNTRLR 1/2 Rack L2000 12135

しかしながら、弊社は引き続き修理・オーバーホールをさせて頂く事が可能でございます。

詳しくはsales@tmh-inc.co.jpにお問い合わせ下さい。

TMH開始提供MCA ESC・Ceramic Heater・Magnet的再生服務。
2013/06/01

投稿1

MCA E-Chuck Heater(150mm, 200mm, 300mm)、PVD ESC、ALN Heater、CVD Ceramic Heater、AMAT製以及TEL製 Magnet全部均可提供再生服務。

代表型號如下:
– AMAT Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 200mm DCxZ Ceramic Heater (Giga fill ALN Heater)
– 200mm DxZ Ceramic Heater
– 200mm TixZ Ceramic Heater (Gigafill ALN Heater)
– 200mm DcSxZ Ceramic Long Shaft Heater
– AMAT Dual Zone Ceramic Heater(200mm, 300mm)
– 300mm TEL Trias Stage Ceramic Heater
– AMAT CWXZ Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– 300mm Purge Ceramic Heater
– Genus CVD 300mm ALN Heater
– APF Producer Ceramic Heater (200mm, 300mm)
– MCA E-Chuck Heater [PVD ESC]

 

更詳細的資訊請參考ESC再生一覽表

◆若未能從一覽表中找到您欲探索的型號,歡迎隨時寄函至sales@tmh-inc.co.jp咨詢!